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硅光測試系統


 晶圓級硅光測試系統

產品介紹

      硅光芯片擁有集成電路技術超大規模、光子技術的超高速率和超低功耗的優勢, 在通信、數據中心、超級計算機、量子技術等領域應用前景廣泛。硅光測試測量技術方案基于成熟可靠的晶圓測試探針臺、高分辨率顯微成像系統、高精度低損耗光學測試組件、精密光纖定位組件、光纖定位控制器、光電轉換器和系統集成控制軟件等搭建的高效光電測試系統。 

                                                                                            

產品特點                                                                       

Ø 完全國產自主知識產權,售后無憂                                                     

Ø  貨期快,比進口產品快2/3以上

Ø  雙邊共計18軸電動控制,納米級別精度

Ø  可定制,滿足各種不同測試需求

Ø  支持垂直耦合和端面耦合

Ø  支持單光纖耦合和陣列光纖耦合

Ø  EasyLink集成軟件控制所有設備

Ø  系統搭建和準備流程簡化,節省培訓成本

                                                                            晶圓級自動耦合跑片視頻

自動耦合系統指標

該系統配置壓電納米定位臺,結合EasyLink軟件,可實現X、Y、Z、XY、XZ、YZ、XYZ 多種運動算法,均可實現最大100μm 的精密運動。配置下視顯微鏡和側面顯微鏡,輕松完成光纖對準和高度確認。顯微鏡視野界面及耦合界面如下圖所示。


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